一种高致密度的银靶材的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202310933155.X
申请日
2023-07-27
公开(公告)号
CN116804268B
公开(公告)日
2025-05-30
发明(设计)人
唐安泰 唐智勇 程波
申请人
株洲火炬安泰新材料有限公司
申请人地址
412000 湖南省株洲市天元区湘芸路2586号
IPC主分类号
C23C14/35
IPC分类号
B22F1/10 B22F1/142 B22F1/145
代理机构
湖南会挽专利代理事务所(普通合伙) 43286
代理人
周冬辉
法律状态
授权
国省代码
湖南省 株洲市
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共 50 条
[1]
一种高致密度AZO靶材的制备方法 [P]. 
李召阳 ;
李彬 ;
李继文 ;
上官林建 ;
聂福全 ;
贾铁昆 ;
任二洲 ;
卢艳阳 ;
宋伟志 ;
牛一旭 ;
高雪 .
中国专利 :CN118324539A ,2024-07-12
[2]
一种高致密度高纯度溅射旋转银靶材的制备方法 [P]. 
黄伟东 .
中国专利 :CN107267945A ,2017-10-20
[3]
一种高致密度AZO靶材的制备方法 [P]. 
刘苗 ;
孙本双 ;
何季麟 ;
刘洋 ;
王之君 ;
陈杰 ;
曾学云 .
中国专利 :CN120817800A ,2025-10-21
[4]
高致密度AZO靶材及其制备方法 [P]. 
王铁军 ;
张凤戈 ;
唐培新 ;
高明 ;
张路长 ;
姚惠龙 ;
缪磊 ;
王江廷 ;
孙右文 .
中国专利 :CN104418592A ,2015-03-18
[5]
高致密度的硅铝旋转靶材的制备方法 [P]. 
刚爽 ;
杨晔 ;
朱永明 .
中国专利 :CN108707870A ,2018-10-26
[6]
一种高致密度ITO靶材的烧结方法 [P]. 
方宏 ;
王政红 ;
武创 .
中国专利 :CN104773998A ,2015-07-15
[7]
一种高致密度PZT靶材及其制备方法 [P]. 
张元松 ;
褚涛 ;
王五松 ;
赵婉男 ;
张静 .
中国专利 :CN107445617A ,2017-12-08
[8]
一种高纯度高致密度GZO靶材的制备方法 [P]. 
曾墩风 ;
王志强 ;
曾探 ;
鄢波 .
中国专利 :CN120423869A ,2025-08-05
[9]
一种大尺寸、高致密度钼靶材的制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
周友平 ;
孙慧芳 ;
吴东青 .
中国专利 :CN115502403A ,2022-12-23
[10]
一种高致密度铝钛合金靶材的制备方法 [P]. 
边逸军 ;
姚力军 ;
张怡忠 ;
吴东青 .
中国专利 :CN120989563A ,2025-11-21