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陶瓷基板、静电吸盘以及基板固定装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411607403.2
申请日：
2024-11-12
公开(公告)号：
CN119977531A
公开(公告)日：
2025-05-13
发明(设计)人：
堀凌辅
申请人：
新光电气工业株式会社
申请人地址：
日本长野县
IPC主分类号：
C04B35/10
IPC分类号：
C04B35/622 C04B41/88
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
龙涛峰;刘杰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-13 公开 公开
共 50 条
[1]
陶瓷结构、静电吸盘以及基板固定装置 [P]. 
峰村知刚 .
中国专利 :CN113903698A ,2022-01-07
[2]
静电吸盘以及基板固定装置 [P]. 
春原昌宏 ;
佐藤坚 ;
小林博幸 ;
石井宏 .
日本专利 :CN121123098A ,2025-12-12
[3]
静电吸盘、基板固定装置和基板固定装置的制造方法 [P]. 
白岩则雄 ;
高田和弥 .
中国专利 :CN114171448A ,2022-03-11
[4]
静电吸盘和基板固定装置 [P]. 
春原昌宏 ;
中村达矢 .
日本专利 :CN119314933A ,2025-01-14
[5]
静电吸盘和基板固定装置 [P]. 
小泉直幸 ;
清水和纪 ;
小林健太郎 .
中国专利 :CN115116921A ,2022-09-27
[6]
静电吸盘和基板固定装置 [P]. 
春原昌宏 ;
佐藤坚 ;
中村达矢 .
中国专利 :CN115547910A ,2022-12-30
[7]
静电吸盘和基板固定装置 [P]. 
小林博幸 .
中国专利 :CN113284836A ,2021-08-20
[8]
静电吸盘和基板固定装置 [P]. 
村松佑亮 ;
竹元启一 ;
原山洋一 .
中国专利 :CN115132637A ,2022-09-30
[9]
静电吸盘和基板固定装置 [P]. 
草间泰彦 .
中国专利 :CN112951754A ,2021-06-11
[10]
静电吸盘和基板固定装置 [P]. 
小林博幸 .
日本专利 :CN113284836B ,2025-07-25
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