一种锗硅电吸收调制器及其制作方法

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专利类型
发明
申请号
CN202111517323.4
申请日
2021-12-13
公开(公告)号
CN114355634B
公开(公告)日
2025-05-06
发明(设计)人
孙嘉良 刘雨菲 蔡艳 余明斌
申请人
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址
200050 上海市长宁区长宁路865号
IPC主分类号
G02F1/015
IPC分类号
G02F1/025 G02F1/00
代理机构
上海泰博知识产权代理有限公司 31451
代理人
谢文凯
法律状态
授权
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
一种锗硅电吸收调制器及其制作方法 [P]. 
孙嘉良 ;
刘雨菲 ;
蔡艳 ;
余明斌 .
中国专利 :CN114355634A ,2022-04-15
[2]
锗硅电吸收调制器 [P]. 
李亚明 ;
成步文 .
中国专利 :CN105474078A ,2016-04-06
[3]
电吸收调制器 [P]. 
余国民 ;
A·J·齐尔基 .
英国专利 :CN112204459B ,2025-02-07
[4]
电吸收调制器 [P]. 
余国民 ;
A·J·齐尔基 .
中国专利 :CN112204459A ,2021-01-08
[5]
高速电吸收调制器的制作方法 [P]. 
胡小华 ;
王宝军 ;
王圩 ;
朱洪亮 .
中国专利 :CN1258843C ,2004-10-13
[6]
一种基于锗硅电吸收调制器的硅光收发模块 [P]. 
孙嘉良 ;
刘雨菲 ;
蔡艳 ;
余明斌 .
中国专利 :CN113376772A ,2021-09-10
[7]
一种具有锗调制层的电吸收调制器及其成型方法 [P]. 
李志华 ;
尹旺旺 .
中国专利 :CN116449586B ,2025-06-13
[8]
一种硅基电吸收调制器及其制备方法 [P]. 
刘智 ;
成步文 ;
薛春来 .
中国专利 :CN108828797B ,2018-11-16
[9]
相位调制器及其制作方法、硅基电光调制器 [P]. 
王志仁 ;
周林杰 ;
周砚扬 ;
刘磊 .
中国专利 :CN111051969A ,2020-04-21
[10]
硅基行波电极调制器及其制作方法 [P]. 
闫冬冬 ;
李显尧 .
中国专利 :CN113934025A ,2022-01-14