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一种晶圆定位夹具

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421327647.0
申请日：
2024-06-12
公开(公告)号：
CN222953069U
公开(公告)日：
2025-06-06
发明(设计)人：
刘畅
申请人：
苏州烯晶半导体科技有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区兴浦路200号21#201
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
苏州尚为知识产权代理事务所(普通合伙) 32483
代理人：
印丹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-06 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆定位夹具 [P]. 
卢成义 ;
罗葵 .
中国专利 :CN217345135U ,2022-09-02
[2]
一种晶圆检测定位夹具 [P]. 
吴子若 .
中国专利 :CN222386801U ,2025-01-24
[3]
晶圆夹具 [P]. 
王振荣 ;
黄利松 ;
张路 .
中国专利 :CN202585375U ,2012-12-05
[4]
一种晶圆加工用可调式定位夹具 [P]. 
殷泽安 ;
殷志鹏 .
中国专利 :CN213647161U ,2021-07-09
[5]
一种晶圆涂布夹具 [P]. 
李涛 ;
尚海 ;
雷紫昂 .
中国专利 :CN214335462U ,2021-10-01
[6]
一种半导体晶圆设备搬运的定位夹具 [P]. 
王俊 ;
金嘉辉 ;
周魏 ;
程宏 ;
王勤 ;
傅丁丁 .
中国专利 :CN209592004U ,2019-11-05
[7]
一种晶圆夹具 [P]. 
柳威 ;
张峰 ;
孙荣兵 ;
孙剑 ;
高裕弟 .
中国专利 :CN217822735U ,2022-11-15
[8]
一种晶圆夹具 [P]. 
李媛媛 .
中国专利 :CN217485425U ,2022-09-23
[9]
一种晶圆夹具 [P]. 
冯向旭 .
中国专利 :CN222562670U ,2025-03-04
[10]
一种晶圆夹具 [P]. 
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN221626368U ,2024-08-30
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