一种晶圆减薄机的减薄转台装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422188201.0

申请日：

2024-09-05

公开(公告)号：

CN223012843U

公开(公告)日：

2025-06-24

发明(设计)人：

付强陈宁刘大伟梁永聪马宇宙邓捷

申请人：

深圳市昇茂科技有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华区大浪街道水围社区华荣路496号3栋1层-2层

IPC主分类号：

B24B37/27

IPC分类号：

B24B37/04

代理机构：

深圳市中科创为专利代理有限公司 44384

代理人：

郭胜男;游强

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-24	授权	授权

共 50 条

[1]

载台装置及晶圆减薄机 [P].

吴俊逸 ;

沈凌寒 .

中国专利 :CN220774328U ,2024-04-12

[2]

晶圆减薄机 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN309436279S ,2025-08-12

[3]

一种晶圆减薄机 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221621862U ,2024-08-30

[4]

晶圆减薄机台及晶圆减薄方法 [P].

余兴 .

中国专利 :CN110416126A ,2019-11-05

[5]

晶圆加工减薄机 [P].

陈孟端 .

中国专利 :CN203165870U ,2013-08-28

[6]

一种晶圆减薄机 [P].

洪志清 ;

李健飞 .

中国专利 :CN220783258U ,2024-04-16

[7]

一种晶圆减薄机的研磨装置 [P].

付强 ;

陈宁 ;

刘大伟 ;

梁永聪 ;

马宇宙 ;

邓捷 .

中国专利 :CN223012839U ,2025-06-24

[8]

晶圆减薄装置 [P].

吴俊逸 ;

沈凌寒 .

中国专利 :CN220740470U ,2024-04-09

[9]

晶圆减薄机微量进给机构 [P].

程晔 ;

孙庆平 .

中国专利 :CN223130280U ,2025-07-22

[10]

一种晶圆减薄机转台倾角调整装置 [P].

高云睿 ;

尹韶辉 ;

王哲 ;

张景军 ;

钱泽梁 .

中国专利 :CN121083516A ,2025-12-09

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