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一种用于检测抛光液浓度的分流装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202421730451.6
申请日
:
2024-07-22
公开(公告)号
:
CN223006090U
公开(公告)日
:
2025-06-20
发明(设计)人
:
骆金祥
余君萍
申请人
:
深圳市川研科技有限公司
申请人地址
:
518115 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区广达路57号花生U谷(办公楼)5006(一照多址企业)
IPC主分类号
:
G01N27/06
IPC分类号
:
代理机构
:
安徽省首诠知识产权代理事务所(普通合伙) 34376
代理人
:
邢振存
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-06-20
授权
授权
共 50 条
[21]
一种能回收抛光液的抛光装置
[P].
陈昆
论文数:
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0
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陈昆
.
中国专利
:CN209239818U
,2019-08-13
[22]
一种抛光液的生产装置
[P].
黎持荣
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黎持荣
;
李光
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李光
.
中国专利
:CN211800624U
,2020-10-30
[23]
一种抛光装置的抛光液添加结构
[P].
张水流
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张水流
;
杨帆
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杨帆
.
中国专利
:CN210998208U
,2020-07-14
[24]
一种抛光液的反应装置
[P].
叶孔萌
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叶孔萌
.
中国专利
:CN215800028U
,2022-02-11
[25]
防止抛光液飞溅的抛光设备
[P].
李远田
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李远田
;
孟洁
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孟洁
;
蒋玉娇
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蒋玉娇
.
中国专利
:CN217750941U
,2022-11-08
[26]
一种用于金属抛光的抛光液
[P].
刘银松
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刘银松
.
中国专利
:CN105239073A
,2016-01-13
[27]
一种抛光液过滤装置
[P].
巩强
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机构:
意芯微电子材料(南通)有限公司
意芯微电子材料(南通)有限公司
巩强
;
张建
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机构:
意芯微电子材料(南通)有限公司
意芯微电子材料(南通)有限公司
张建
.
中国专利
:CN220609499U
,2024-03-19
[28]
一种抛光液过滤装置
[P].
刘瑜恒
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刘瑜恒
.
中国专利
:CN214344813U
,2021-10-08
[29]
一种抛光液配置装置
[P].
祝斌
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祝斌
;
武卫
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武卫
;
孙晨光
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孙晨光
;
刘建伟
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刘建伟
;
由佰玲
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由佰玲
;
刘园
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刘园
;
谢艳
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谢艳
;
杨春雪
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杨春雪
;
刘秒
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刘秒
;
常雪岩
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常雪岩
;
裴坤羽
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裴坤羽
;
吕莹
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吕莹
;
徐荣清
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徐荣清
.
中国专利
:CN210815033U
,2020-06-23
[30]
一种抛光液供给装置
[P].
郭小霞
论文数:
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0
郭小霞
.
中国专利
:CN218427710U
,2023-02-03
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