一种硅片输送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422317913.8

申请日：

2024-09-23

公开(公告)号：

CN223002145U

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

许明明蒋新施利君刘礼勇

申请人：

苏州晶洲装备科技有限公司

申请人地址：

215555 江苏省苏州市常熟市辛庄镇新阳大道136号

IPC主分类号：

B65G15/32

IPC分类号：

B65G23/44

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

邱锴文

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片输送装置 [P].

殷磊 ;

刘尧章 ;

马立 .

中国专利 :CN223023244U ,2025-06-24

[2]

一种硅片输送装置 [P].

张永波 ;

沈玉懿 ;

张渊 ;

刘磊 ;

陈颖 ;

徐建华 .

中国专利 :CN220975463U ,2024-05-17

[3]

一种硅片输送装置 [P].

张洪旺 ;

史卫利 .

中国专利 :CN207511445U ,2018-06-19

[4]

一种硅片输送装置 [P].

孙永刚 ;

李新丰 ;

邱其伟 .

中国专利 :CN217280721U ,2022-08-23

[5]

硅片旋转输送装置 [P].

吴廷斌 ;

张学强 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

刘三利 .

中国专利 :CN214588778U ,2021-11-02

[6]

一种导正机构及硅片输送装置 [P].

王刚 ;

赵哲 ;

张权 ;

柴尉 ;

黄文 .

中国专利 :CN220722611U ,2024-04-05

[7]

一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置 [P].

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

韩杰 ;

薛冬冬 ;

卞海峰 ;

顾晓奕 .

中国专利 :CN217866289U ,2022-11-22

[8]

一种硅片翻转输送装置 [P].

周传国 ;

杜伟 ;

王先亮 .

中国专利 :CN221827861U ,2024-10-11

[9]

一种硅片扩散输送装置 [P].

陈雨程 .

中国专利 :CN204264992U ,2015-04-15

[10]

一种硅片翻转输送装置 [P].

冯显火 .

中国专利 :CN209889748U ,2020-01-03

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