一种硅片扩散输送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420720689.0

申请日：

2014-11-27

公开(公告)号：

CN204264992U

公开(公告)日：

2015-04-15

发明(设计)人：

陈雨程

申请人：

申请人地址：

314500 浙江省嘉兴市桐乡市屠甸镇轻纺工业园区同丰路

IPC主分类号：

B65G4907

IPC分类号：

代理机构：

杭州天欣专利事务所(普通合伙) 33209

代理人：

魏美贞

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101697379469 IPC(主分类):B65G 49/07 专利号:ZL2014207206890 申请日:20141127 授权公告日:20150415 终止日期:20151127
2015-04-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片输送装置 [P].

张洪旺 ;

史卫利 .

中国专利 :CN207511445U ,2018-06-19

[2]

一种硅片输送装置 [P].

殷磊 ;

刘尧章 ;

马立 .

中国专利 :CN223023244U ,2025-06-24

[3]

一种硅片输送装置 [P].

许明明 ;

蒋新 ;

施利君 ;

刘礼勇 .

中国专利 :CN223002145U ,2025-06-20

[4]

一种硅片输送装置 [P].

张永波 ;

沈玉懿 ;

张渊 ;

刘磊 ;

陈颖 ;

徐建华 .

中国专利 :CN220975463U ,2024-05-17

[5]

一种硅片输送装置 [P].

孙永刚 ;

李新丰 ;

邱其伟 .

中国专利 :CN217280721U ,2022-08-23

[6]

硅片输送装置及硅片转移系统 [P].

吴建晓 ;

萧吉宏 ;

刘超 .

中国专利 :CN222514897U ,2025-02-21

[7]

一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置 [P].

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

韩杰 ;

薛冬冬 ;

卞海峰 ;

顾晓奕 .

中国专利 :CN217866289U ,2022-11-22

[8]

一种硅片翻转输送装置 [P].

周传国 ;

杜伟 ;

王先亮 .

中国专利 :CN221827861U ,2024-10-11

[9]

一种硅片翻转输送装置 [P].

冯显火 .

中国专利 :CN209889748U ,2020-01-03

[10]

一种晶硅片输送装置 [P].

张霖芝 ;

眭朝萍 ;

田帅 .

中国专利 :CN221050670U ,2024-05-31

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