一种碳化硅抛光液生产用过滤装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421954743.8

申请日：

2024-08-13

公开(公告)号：

CN222969317U

公开(公告)日：

2025-06-13

发明(设计)人：

段云芳段云莉张利张凯

申请人：

天津赛力成科技有限公司

申请人地址：

300000 天津市滨海新区经济技术开发区汉沽现代产业区华山路19号

IPC主分类号：

B01D29/50

IPC分类号：

B01D35/12 B01D29/01 B01D29/82 B01D37/04 B01D29/60

代理机构：

合肥诚育专利代理事务所(普通合伙) 34254

代理人：

晋霜

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅抛光液过滤装置 [P].

白洋洋 .

中国专利 :CN223263510U ,2025-08-26

[2]

碳化硅抛光液增压式过滤装置 [P].

陈苏兰 ;

陶翔 ;

申博元 .

中国专利 :CN217247195U ,2022-08-23

[3]

碳化硅抛光液过滤设备 [P].

孔云龙 ;

张辉 .

中国专利 :CN220968380U ,2024-05-17

[4]

清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置 [P].

张泽芳 ;

彭诗月 .

中国专利 :CN217141451U ,2022-08-09

[5]

一种碳化硅抛光液生产用废料回收装置 [P].

段云芳 ;

门业明 ;

段云莉 ;

陈作瑞 .

中国专利 :CN222969298U ,2025-06-13

[6]

碳化硅基片的抛光液 [P].

周海 .

中国专利 :CN101724344A ,2010-06-09

[7]

碳化硅衬底用抛光液 [P].

储耀卿 ;

施尔畏 .

中国专利 :CN102533124A ,2012-07-04

[8]

一种清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置 [P].

邵枫萍 .

中国专利 :CN221390547U ,2024-07-23

[9]

一种有效解决碳化硅抛光液堵塞的抛光垫 [P].

元利勇 ;

曾昊 ;

王玉茹 ;

张珂 .

中国专利 :CN209615157U ,2019-11-12

[10]

一种碳化硅抛光液生产用便于清洗节水装置 [P].

段云芳 ;

门业明 ;

张津津 ;

段云涛 .

中国专利 :CN223233805U ,2025-08-19

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