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碳化硅抛光液增压式过滤装置

被引：0
申请号：
CN202220842216.2
申请日：
2022-04-12
公开(公告)号：
CN217247195U
公开(公告)日：
2022-08-23
发明(设计)人：
陈苏兰 陶翔 申博元
申请人：
申请人地址：
314001 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇步焦路1688号1幢三楼
IPC主分类号：
B01D2935
IPC分类号：
B01D2956
代理机构：
浙江永鼎律师事务所 33233
代理人：
周祥玉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-08-23 授权 授权
共 50 条
[1]
一种碳化硅抛光液过滤装置 [P]. 
白洋洋 .
中国专利 :CN223263510U ,2025-08-26
[2]
碳化硅抛光液过滤设备 [P]. 
孔云龙 ;
张辉 .
中国专利 :CN220968380U ,2024-05-17
[3]
一种碳化硅抛光液生产用过滤装置 [P]. 
段云芳 ;
段云莉 ;
张利 ;
张凯 .
中国专利 :CN222969317U ,2025-06-13
[4]
清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置 [P]. 
张泽芳 ;
彭诗月 .
中国专利 :CN217141451U ,2022-08-09
[5]
碳化硅基片的抛光液 [P]. 
周海 .
中国专利 :CN101724344A ,2010-06-09
[6]
碳化硅衬底用抛光液 [P]. 
储耀卿 ;
施尔畏 .
中国专利 :CN102533124A ,2012-07-04
[7]
一种清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置 [P]. 
邵枫萍 .
中国专利 :CN221390547U ,2024-07-23
[8]
一种有效解决碳化硅抛光液堵塞的抛光垫 [P]. 
元利勇 ;
曾昊 ;
王玉茹 ;
张珂 .
中国专利 :CN209615157U ,2019-11-12
[9]
一种碳化硅抛光液搅拌乳化装置 [P]. 
杨柳 ;
张高杰 .
中国专利 :CN222019363U ,2024-11-19
[10]
一种解决碳化硅抛光液堵塞的抛光盘 [P]. 
元利勇 ;
曾昊 ;
王玉茹 ;
李帅 .
中国专利 :CN209579204U ,2019-11-05
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