一种碳化硅抛光液搅拌乳化装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420624006.5

申请日：

2024-03-28

公开(公告)号：

CN222019363U

公开(公告)日：

2024-11-19

发明(设计)人：

杨柳张高杰

申请人：

东莞市柯林奥半导体材料有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市石排镇向西沿河路北19号1号楼601室

IPC主分类号：

B01F27/90

IPC分类号：

B01F27/192 B01F27/70 B01F27/232 B01F35/00 B01F35/45 B01F23/41 B01F23/43 B01F101/27

代理机构：

广东东锐专利代理事务所(普通合伙) 441011

代理人：

陈吉星

法律状态：

授权

国省代码：

广东省东莞市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅抛光液过滤装置 [P].

白洋洋 .

中国专利 :CN223263510U ,2025-08-26

[2]

一种碳化硅抛光液生产用废料回收装置 [P].

段云芳 ;

门业明 ;

段云莉 ;

陈作瑞 .

中国专利 :CN222969298U ,2025-06-13

[3]

一种抛光液搅拌乳化装置 [P].

罗冷 ;

苏小磊 ;

黄涌卓 .

中国专利 :CN223570579U ,2025-11-21

[4]

清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置 [P].

张泽芳 ;

彭诗月 .

中国专利 :CN217141451U ,2022-08-09

[5]

碳化硅抛光液增压式过滤装置 [P].

陈苏兰 ;

陶翔 ;

申博元 .

中国专利 :CN217247195U ,2022-08-23

[6]

碳化硅基片的抛光液 [P].

周海 .

中国专利 :CN101724344A ,2010-06-09

[7]

碳化硅衬底用抛光液 [P].

储耀卿 ;

施尔畏 .

中国专利 :CN102533124A ,2012-07-04

[8]

碳化硅抛光液过滤设备 [P].

孔云龙 ;

张辉 .

中国专利 :CN220968380U ,2024-05-17

[9]

一种清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置 [P].

邵枫萍 .

中国专利 :CN221390547U ,2024-07-23

[10]

一种碳化硅抛光液生产用过滤装置 [P].

段云芳 ;

段云莉 ;

张利 ;

张凯 .

中国专利 :CN222969317U ,2025-06-13

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