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一种晶圆解胶照射机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420809409.7
申请日：
2024-04-18
公开(公告)号：
CN222995374U
公开(公告)日：
2025-06-17
发明(设计)人：
唐寒风
苏玫瑰
陈志勇
申请人：
广东思沃先进装备有限公司
申请人地址：
523000 广东省东莞市松山湖园区兴业路2号13栋
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/68
H01L21/67
代理机构：
东莞科强知识产权代理事务所(普通合伙) 44450
代理人：
李林学
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
东莞市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-17 | 授权 | 授权 |