共 50 条
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原子層の容量結合プラズマ堆積のための方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20240568369
申请日：
2023-05-15
公开(公告)号：
JP2025515937A
公开(公告)日：
2025-05-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
C23C16/509
H05H1/46
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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