等离子体工艺制程监测方法及其监测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211641013.8

申请日：

2022-12-20

公开(公告)号：

CN115799026B

公开(公告)日：

2025-07-11

发明(设计)人：

陆祺峰沈唐尧贺晓龙崔靖殷海玮方源

申请人：

上海复享光学股份有限公司

申请人地址：

200433 上海市杨浦区国定东路200号4号楼412-1室

IPC主分类号：

H01J37/244

IPC分类号：

H01J37/302 H01L21/3065 G01N21/31 G06F18/10 G06F18/2131

代理机构：

上海唯源专利代理有限公司 31229

代理人：

宋小光

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-11	授权	授权

共 50 条

[1]

原位等离子体工艺制程监测系统及其监测方法 [P].

陆祺峰 ;

贺晓龙 ;

沈唐尧 ;

崔靖 ;

殷海玮 ;

方源 .

中国专利 :CN115831796B ,2025-06-24

[2]

监测等离子体工艺制程的等离子体处理装置和方法 [P].

张洁 ;

刘身健 .

中国专利 :CN107546094B ,2018-01-05

[3]

监测等离子体工艺制程的装置和方法 [P].

黄智林 ;

王红军 .

中国专利 :CN106876236A ,2017-06-20

[4]

监测等离子体工艺制程的装置和方法 [P].

黄智林 ;

杨平 .

中国专利 :CN106876238B ,2017-06-20

[5]

监测等离子体工艺制程的装置和方法 [P].

张洁 ;

黄智林 .

中国专利 :CN107546141B ,2018-01-05

[6]

等离子体监测系统 [P].

朴英吉 ;

鱼在湖 .

韩国专利 :CN222071863U ,2024-11-26

[7]

等离子体监测系统 [P].

李光镐 ;

南象基 ;

朴智兑 ;

印成晋 ;

林建熙 ;

张圣虎 .

韩国专利 :CN118471773A ,2024-08-09

[8]

等离子体监测系统 [P].

郑胤松 .

韩国专利 :CN118213256A ,2024-06-18

[9]

等离子体监测系统 [P].

李淳钟 ;

禹奉周 ;

郑载勋 ;

金学权 ;

姜志澔 .

中国专利 :CN102788916A ,2012-11-21

[10]

等离子体感测装置、等离子体监测系统和等离子体工艺控制方法 [P].

朴宪勇 ;

裴祥佑 ;

李瑟琪 ;

朱愿暾 .

中国专利 :CN110890258A ,2020-03-17

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