机械手、晶圆减薄设备及晶圆清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510365488.6

申请日：

2024-12-14

公开(公告)号：

CN120221494A

公开(公告)日：

2025-06-27

发明(设计)人：

许刚靳凯强慈荣广刘远航赵德文

申请人：

华海清科股份有限公司

申请人地址：

300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

B25J9/00 B25J15/00 B08B11/02 B08B3/02 B24B27/00 B24B41/00 B24B55/06 H01L21/02 H01L21/67 H01L21/677

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

天津市市辖区

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共 50 条

[1]

晶圆清洗装置、清洗方法及晶圆减薄设备 [P].

许刚 ;

靳凯强 ;

慈荣广 ;

刘远航 ;

赵德文 .

中国专利 :CN119340200B ,2025-04-15

[2]

晶圆清洗装置、清洗方法及晶圆减薄设备 [P].

许刚 ;

靳凯强 ;

慈荣广 ;

刘远航 ;

赵德文 .

中国专利 :CN119340200A ,2025-01-21

[3]

抓取部件、机械手及晶圆清洗设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222146182U ,2024-12-10

[4]

晶圆机械手以及晶圆输送设备 [P].

黎佐兴 ;

杨福满 ;

杨洪生 ;

朱新华 ;

张晓军 .

中国专利 :CN223167471U ,2025-07-29

[5]

晶圆机械手 [P].

李曾元 ;

朱桐桐 ;

周飞 ;

仰庶 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN119890105A ,2025-04-25

[6]

晶圆减薄设备 [P].

王强 ;

于光明 ;

孙志超 ;

庭玉超 ;

张方伟 .

中国专利 :CN115338717A ,2022-11-15

[7]

晶圆减薄设备 [P].

慈荣广 ;

马旭 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN120089631A ,2025-06-03

[8]

晶圆传输机械手、晶圆传输方法及装置 [P].

许刚 ;

马旭 ;

靳凯强 ;

刘远航 ;

赵德文 .

中国专利 :CN119748319A ,2025-04-04

[9]

晶圆减薄方法 [P].

林峰 ;

洪齐元 .

中国专利 :CN102832223B ,2012-12-19

[10]

晶圆传输机械手的清洗装置 [P].

王晖 ;

向阳 ;

初振明 .

中国专利 :CN119527825A ,2025-02-28

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-27	公开	公开
2025-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20241214