官能化金属和氮化物CMP浆料

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411940746.0

申请日：

2024-12-26

公开(公告)号：

CN120290100A

公开(公告)日：

2025-07-11

发明(设计)人：

郭毅 A·W·马丁

申请人：

杜邦电子材料控股股份有限公司

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

H01L21/306 C23F3/04

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈哲锋;乐洪咏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-11	公开	公开

共 50 条

[1]

官能化碳颗粒CMP浆料 [P].

郭毅 ;

A·W·马丁 .

美国专利 :CN120290099A ,2025-07-11

[2]

官能化碳颗粒CMP浆料分散体 [P].

A·W·马丁 ;

郭毅 .

美国专利 :CN120290101A ,2025-07-11

[3]

官能化碳颗粒钨CMP浆料 [P].

A·W·马丁 ;

郭毅 .

美国专利 :CN120290102A ,2025-07-11

[4]

用于金属CMP的组合物和浆料 [P].

史蒂文·K·格鲁宾 ;

克里斯托弗·C·斯特赖恩兹 ;

布赖恩·L·米勒 .

中国专利 :CN1131125C ,2000-01-26

[5]

金属氮化物及金属氮化物的制造方法 [P].

辻秀人 .

中国专利 :CN1993292B ,2007-07-04

[6]

可溶性金属氧化物阴离子CMP浆料 [P].

A·W·马丁 ;

郭毅 .

美国专利 :CN120290103A ,2025-07-11

[7]

金属－金属氮化物及金属氮化物pH电极传感器 [P].

肖丹 ;

袁红雁 ;

李毅 .

中国专利 :CN1936562A ,2007-03-28

[8]

金属－金属氮化物及金属氮化物pH电极传感器 [P].

肖丹 ;

袁红雁 ;

李毅 .

中国专利 :CN2828815Y ,2006-10-18

[9]

介孔金属氮化物材料和方法 [P].

F·迪萨尔沃 ;

M·杨 ;

M·麦克劳德 .

中国专利 :CN103946146A ,2014-07-23

[10]

在金属氮化物层中的金属间氮化物相的形成 [P].

威廉·托德·纳恩 ;

凯文·M·麦克劳克林 ;

阿南达·K·巴纳基 ;

阿尔潘·普拉文·毛洛瓦拉 .

美国专利 :CN120435760A ,2025-08-05

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