垂直沟道晶体管的制备方法及垂直沟道晶体管结构

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510454554.7
申请日
2025-04-11
公开(公告)号
CN120302663A
公开(公告)日
2025-07-11
发明(设计)人
郭新龙 刘桃 黄自强 钱乐雯 廖美成 徐敏 张卫
申请人
复旦大学
申请人地址
200433 上海市杨浦区邯郸路220号
IPC主分类号
H10D30/01
IPC分类号
H10D30/62 H10D64/27
代理机构
上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙) 31343
代理人
张菁
法律状态
公开
国省代码
上海市 市辖区
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共 50 条
[1]
垂直沟道晶体管的制备方法及垂直沟道晶体管结构 [P]. 
郭新龙 ;
刘桃 ;
钱乐雯 ;
黄自强 ;
廖美成 ;
徐敏 ;
张卫 .
中国专利 :CN120812974A ,2025-10-17
[2]
垂直沟道晶体管 [P]. 
陈逸男 ;
徐文吉 ;
叶绍文 ;
刘献文 .
中国专利 :CN103378127B ,2013-10-30
[3]
双垂直沟道晶体管 [P]. 
陈逸男 ;
徐文吉 ;
叶绍文 ;
刘献文 .
中国专利 :CN103378147B ,2013-10-30
[4]
垂直沟道晶体管以及包括垂直沟道晶体管的存储器件 [P]. 
金真怜 ;
宋基焕 .
中国专利 :CN101150132B ,2008-03-26
[5]
制造垂直沟道晶体管的方法 [P]. 
金冈昱 ;
吴容哲 ;
金熙中 ;
郑铉雨 ;
金铉琦 .
中国专利 :CN102104005B ,2011-06-22
[6]
晶体管阵列及制造垂直沟道晶体管阵列的方法 [P]. 
A·蒂斯 ;
K·米姆勒 .
中国专利 :CN1819205A ,2006-08-16
[7]
垂直沟道晶体管阵列及其制造方法 [P]. 
永井享浩 .
中国专利 :CN102610612B ,2012-07-25
[8]
垂直沟道晶体管阵列及其制造方法 [P]. 
小林平治 ;
永井享浩 .
中国专利 :CN102339831A ,2012-02-01
[9]
多沟道晶体管 [P]. 
格雷戈里·布宁 ;
塔玛拉·巴克什特 .
中国专利 :CN105247680A ,2016-01-13
[10]
一种垂直沟道晶体管结构及制造方法 [P]. 
黄凯亮 ;
景蔚亮 ;
王昭桂 ;
冯君校 ;
王正波 .
中国专利 :CN116799057B ,2025-12-16