碳化硅晶锭加工方法及加工系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510445458.6
申请日
2025-04-09
公开(公告)号
CN119952304B
公开(公告)日
2025-07-08
发明(设计)人
欧阳鹏根 盛永江 刘小琴 杨水淼 赵阳阳 丁津伟
申请人
浙江求是半导体设备有限公司 浙江晶瑞电子材料有限公司 浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址
311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室
IPC主分类号
B23K26/38
IPC分类号
B28D5/00 B28D7/00 B23K26/70 B23K26/402
代理机构
杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329
代理人
许红平
法律状态
公开
国省代码
浙江省 绍兴市
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共 50 条
[1]
碳化硅晶锭加工方法及加工系统 [P]. 
欧阳鹏根 ;
盛永江 ;
刘小琴 ;
杨水淼 ;
赵阳阳 ;
丁津伟 .
中国专利 :CN119952304A ,2025-05-09
[2]
碳化硅晶锭的加工方法和碳化硅衬底的加工方法 [P]. 
王万堂 ;
许彬杰 ;
邵秦秦 ;
王蓉 ;
韩学峰 ;
皮孝东 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN119260483B ,2025-09-30
[3]
碳化硅晶锭的加工方法和碳化硅衬底的加工方法 [P]. 
王万堂 ;
许彬杰 ;
邵秦秦 ;
王蓉 ;
韩学峰 ;
皮孝东 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN119260483A ,2025-01-07
[4]
碳化硅晶锭及其加工设备 [P]. 
李佑仁 ;
周育正 ;
洪博耀 ;
黄志昇 .
中国专利 :CN217291897U ,2022-08-26
[5]
碳化硅晶锭、碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制造方法 [P]. 
堂本千秋 ;
正木克明 ;
柴田和也 ;
山口恵彥 ;
上山大辅 .
中国专利 :CN105940149A ,2016-09-14
[6]
一种碳化硅晶锭预加工工艺方法 [P]. 
严一雄 ;
程宇轩 ;
陈思佳 ;
李雪凝 ;
郑煜 ;
张明军 ;
程波 ;
毛聪 ;
陈小敏 .
中国专利 :CN118478116B ,2025-04-15
[7]
一种碳化硅晶锭预加工工艺方法 [P]. 
严一雄 ;
程宇轩 ;
陈思佳 ;
李雪凝 ;
郑煜 ;
张明军 ;
程波 ;
毛聪 ;
陈小敏 .
中国专利 :CN118478116A ,2024-08-13
[8]
碳化硅晶锭激光切割方法及切割系统 [P]. 
欧阳鹏根 ;
刘小琴 ;
盛永江 ;
杨水淼 ;
赵阳阳 ;
李佳强 .
中国专利 :CN119927468B ,2025-06-17
[9]
碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P]. 
朴钟辉 ;
沈钟珉 ;
梁殷寿 ;
李演湜 ;
张炳圭 ;
崔正宇 ;
高上基 ;
具甲烈 ;
金政圭 .
中国专利 :CN112746317A ,2021-05-04
[10]
碳化硅晶锭激光切割方法及切割系统 [P]. 
欧阳鹏根 ;
刘小琴 ;
盛永江 ;
杨水淼 ;
赵阳阳 ;
李佳强 .
中国专利 :CN119927468A ,2025-05-06