碳化硅晶锭加工方法及加工系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510445458.6

申请日：

2025-04-09

公开(公告)号：

CN119952304B

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

欧阳鹏根盛永江刘小琴杨水淼赵阳阳丁津伟

申请人：

浙江求是半导体设备有限公司浙江晶瑞电子材料有限公司浙江晶盛机电股份有限公司

申请人地址：

311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室

IPC主分类号：

B23K26/38

IPC分类号：

B28D5/00 B28D7/00 B23K26/70 B23K26/402

代理机构：

杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329

代理人：

许红平

法律状态：

公开

国省代码：

浙江省绍兴市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-09	公开	公开
2025-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B23K 26/38申请日:20250409
2025-07-08	授权	授权

共 50 条

[21]

一种碳化硅晶锭取料加工装置 [P].

扈峥嵘 ;

胡清威 ;

陈文聪 .

中国专利 :CN119927772A ,2025-05-06

[22]

用于生长碳化硅晶锭的粉末以及碳化硅晶锭的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

甄明玉 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 ;

沈钟珉 ;

张炳圭 ;

崔正宇 .

中国专利 :CN112210824A ,2021-01-12

[23]

碳化硅晶锭清洗装置 [P].

芮岩涛 ;

翟虎 ;

林宏达 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN222551529U ,2025-03-04

[24]

碳化硅晶锭处理装置 [P].

乔帅帅 ;

胡方宇 ;

朱耿直 .

中国专利 :CN118147739A ,2024-06-07

[25]

碳化硅晶体载体及加工设备 [P].

曹建伟 ;

朱亮 ;

王金荣 ;

张鸿滨 .

中国专利 :CN223161175U ,2025-07-29

[26]

碳化硅晶锭冷却装置 [P].

张玮 ;

翟虎 ;

刘志彪 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN222861720U ,2025-05-13

[27]

碳化硅衬底、碳化硅锭以及制造碳化硅衬底和碳化硅锭的方法 [P].

佐佐木信 ;

西口太郎 .

中国专利 :CN103476975A ,2013-12-25

[28]

一种碳化硅晶圆加工方法 [P].

严立巍 ;

朱亦峰 ;

刘文杰 ;

马晴 .

中国专利 :CN115472493A ,2022-12-13

[29]

一种剥离碳化硅晶锭的方法及系统 [P].

高宇鹏 ;

李斌 ;

魏汝省 ;

毛开礼 ;

李天 ;

乔亮 ;

毛栋梁 ;

罗东 .

中国专利 :CN120715448A ,2025-09-30

[30]

碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片 [P].

崔思远 ;

赵元亚 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN115458403B ,2025-09-05

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