一种氧化铈的制备方法、一种氧化铈及一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311806543.8

申请日：

2023-12-26

公开(公告)号：

CN120247079A

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

杨磊尹先升王振新马壮陈宇

申请人：

安集微电子科技（上海）股份有限公司

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层

IPC主分类号：

C01F17/235

IPC分类号：

C01F17/10 C09G1/02

代理机构：

上海市建纬律师事务所 31579

代理人：

李佳铭;王芳

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铈粉体、制备方法及化学机械抛光液 [P].

向靖宇 ;

谭显民 ;

王临曦 ;

肖桂林 .

中国专利 :CN120288811A ,2025-07-11

[2]

一种氧化铈合成方法及一种化学机械抛光液 [P].

黄振鹏 ;

尹先升 ;

冯家辉 ;

王博 .

中国专利 :CN120247077A ,2025-07-04

[3]

一种氧化铈粉体、分散方法及化学机械抛光液 [P].

王临曦 ;

刘闯 ;

向靖宇 ;

肖桂林 .

中国专利 :CN120285843A ,2025-07-11

[4]

一种氧化铈的合成方法及一种化学机械抛光液 [P].

刘同君 ;

尹先升 ;

李节 ;

蔡文龙 .

中国专利 :CN120247078A ,2025-07-04

[5]

一种合成氧化铈复合磨料的方法及化学机械抛光液 [P].

邹哲敏 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

罗月 ;

叶瑞 ;

常希文 ;

冯凯 ;

崔会东 ;

刘文戈 ;

沙傲阳 .

中国专利 :CN118995136A ,2024-11-22

[6]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

宋伟红 ;

孙展龙 .

中国专利 :CN102559058A ,2012-07-11

[7]

一种氧化铈晶体的制备方法及其在化学机械抛光液中的应用 [P].

尹先升 ;

贾长征 .

中国专利 :CN108249468A ,2018-07-06

[8]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

姚颖 ;

宋伟红 ;

孙展龙 .

中国专利 :CN102464946B ,2012-05-23

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

庞可亮 ;

王雨春 .

中国专利 :CN103666276A ,2014-03-26

[10]

一种pH响应型核壳结构氧化铈磨料的制备方法、化学机械抛光液、化学机械抛光工艺 [P].

向定艾 ;

夏彤 ;

高曼荣 ;

闫玉 .

中国专利 :CN121108941A ,2025-12-12

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