一种紫外超表面投影光学系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510534580.0

申请日：

2025-04-27

公开(公告)号：

CN120276218A

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

梁中翥郭思妤付申成徐海阳史晓燕杨福明刘益春

申请人：

东北师范大学

申请人地址：

130000 吉林省长春市人民大街5268号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G02B1/00 G03B21/14

代理机构：

北京企创智恒专利代理事务所(普通合伙) 16173

代理人：

程本立

法律状态：

公开

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-08	公开	公开
2025-07-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250427

共 50 条

[1]

超表面光学元件、投影光学系统、图像投影装置 [P].

永濑修 ;

藤村康浩 ;

吉田勇人 ;

中岛智宏 .

日本专利 :CN121208983A ,2025-12-26

[2]

超紫外线光刻投影光学系统和相关方法 [P].

游信胜 ;

卢彦丞 ;

严涛南 .

中国专利 :CN104914678A ,2015-09-16

[3]

投影光学系统 [P].

孟祥月 ;

陈威望 ;

宋立通 ;

励维芳 ;

贺凌波 ;

戴付建 .

中国专利 :CN121209064A ,2025-12-26

[4]

投影光学系统 [P].

杨威 ;

全丽伟 ;

李源财 ;

章丽娟 ;

姜永旭 ;

饶钦和 .

中国专利 :CN120669392A ,2025-09-19

[5]

投影光学系统 [P].

郑竹明 .

中国专利 :CN100371767C ,2005-04-20

[6]

投影光学系统 [P].

峯藤延孝 .

中国专利 :CN105824105B ,2016-08-03

[7]

投影光学系统 [P].

吴昇澈 ;

周昱宏 ;

黄威豪 .

中国专利 :CN114253054A ,2022-03-29

[8]

投影光学系统 [P].

吴昇澈 ;

周昱宏 ;

黄威豪 .

中国专利 :CN114253054B ,2025-02-07

[9]

投影光学系统 [P].

峯藤延孝 .

中国专利 :CN105892025A ,2016-08-24

[10]

投影光学系统 [P].

汉斯-于尔根·罗斯塔尔斯基 ;

奥雷利安·多多克 ;

威廉·乌尔希里 ;

亚历山大·埃普勒 .

中国专利 :CN100538524C ,2007-02-28

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