一种压电悬臂梁式传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510429068.X

申请日：

2025-04-07

公开(公告)号：

CN120252810A

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

胡博豪魏民蔡耀孙成亮

申请人：

武汉敏声新技术有限公司

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城三期D7栋4层01号

IPC主分类号：

G01D5/56

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01D 5/56申请日:20250407
2025-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

压电悬臂梁传感器及其制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103594617A ,2014-02-19

[2]

一种压电MEMS悬臂梁式传感器 [P].

王杰军 ;

古元冬 ;

张嵩松 .

中国专利 :CN119018840A ,2024-11-26

[3]

压电悬臂梁式微型电场传感器 [P].

夏善红 ;

冯可 ;

佟建华 ;

方东明 .

中国专利 :CN103675481B ,2014-03-26

[4]

压电悬臂梁传感器结构制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103618044A ,2014-03-05

[5]

一种压电悬臂梁传感器结构及其制造方法 [P].

杨冰 ;

周伟 ;

肖慧敏 .

中国专利 :CN105514258A ,2016-04-20

[6]

一种悬臂梁式称重传感器及其悬臂梁 [P].

杨剑 ;

王昱 .

中国专利 :CN221745225U ,2024-09-20

[7]

自励、自感知压电悬臂梁传感器 [P].

拉贾坎努·穆萨拉尚 ;

大卫·马拉尔杜 ;

戈塞特·坎贝尔 ;

基尚·里贾尔 .

中国专利 :CN101371132A ,2009-02-18

[8]

多层压电薄膜悬臂梁传感器及制备方法 [P].

杨冰 ;

周伟 ;

肖慧敏 ;

陈力山 ;

张莉玮 .

中国专利 :CN105428519A ,2016-03-23

[9]

悬臂梁传感器 [P].

陆芳 ;

陈祺昶 .

中国专利 :CN306477203S ,2021-04-20

[10]

悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器 [P].

单华锋 ;

曹辉 ;

陈学刚 ;

於群 ;

王家冬 ;

曹凯敏 ;

郁源 ;

王哲琦 .

中国专利 :CN108061563A ,2018-05-22

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