一种磷化铟多晶材料合成用自动控制装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202521212759.6

申请日：

2025-06-13

公开(公告)号：

CN223150694U

公开(公告)日：

2025-07-25

发明(设计)人：

黄小华陈龙刘志勇

申请人：

陕西铟杰半导体有限公司

申请人地址：

727031 陕西省铜川市新区新材料产业园区纬九路小微企业园7号楼

IPC主分类号：

C30B28/06

IPC分类号：

C30B29/40 F27D19/00 F27D21/00

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省南京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-25	授权	授权

共 50 条

[1]

磷化铟多晶水平合成装置 [P].

赵有文 ;

段满龙 .

中国专利 :CN206916255U ,2018-01-23

[2]

磷化铟多晶合成的压力控制装置及方法 [P].

白平平 ;

朱刘 .

中国专利 :CN107747125A ,2018-03-02

[3]

一种磷化铟多晶合成装置 [P].

李勇 ;

曾志勇 ;

罗福敏 .

中国专利 :CN214193522U ,2021-09-14

[4]

一种制备磷化铟多晶材料的水平合成炉 [P].

卢鹏荐 ;

张林 .

中国专利 :CN207294179U ,2018-05-01

[5]

一种磷化铟多晶合成设备 [P].

朱雪峰 ;

何鹏飞 ;

黄国勇 ;

钱俊兵 ;

王应武 .

中国专利 :CN220952196U ,2024-05-14

[6]

一种磷化铟多晶合成方法 [P].

乔印彬 ;

范钦明 ;

陈政委 ;

赵德刚 ;

张宇峰 .

中国专利 :CN117626437A ,2024-03-01

[7]

一种磷化铟多晶高压合成炉 [P].

袁韶阳 ;

冯佳峰 ;

于会永 ;

赵中阳 ;

赵春锋 ;

张艳辉 .

中国专利 :CN222758370U ,2025-04-15

[8]

一种磷化铟多晶生产的压力控制装置及方法 [P].

黄小华 ;

陈龙 ;

陈瑜 ;

郭锐 .

中国专利 :CN114808120A ,2022-07-29

[9]

一种用于磷化铟生产用合成装置 [P].

战泽兴 ;

战泽瑞 ;

蒙奎芝 ;

战先华 ;

喻会平 .

中国专利 :CN217438341U ,2022-09-16

[10]

磷化铟多晶水平合成装置及压力平衡控制方法 [P].

杨翠柏 ;

赵有文 ;

段满龙 ;

陈丙振 ;

刘彤 ;

卢伟 ;

杨俊 .

中国专利 :CN106757360A ,2017-05-31

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