一种基于多尺度特征融合的晶圆缺陷实时检测方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510509282.6

申请日：

2025-04-22

公开(公告)号：

CN120411032A

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

盛浩成坤董长春陈冶敏黄健豪

申请人：

金华高等研究院（金华理工学院筹建工作领导小组办公室）

申请人地址：

321015 浙江省金华市金东区环城南路99号

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G06V10/762 G06V10/44 G06V10/82 G06N3/0464 G06N3/08

代理机构：

北京盛广信合知识产权代理有限公司 16117

代理人：

秦全

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省金华市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20250422
2025-08-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于轻量化多尺度晶圆缺陷检测模型的晶圆缺陷检测方法及系统 [P].

迟荣华 ;

任杰 ;

吴腾 ;

李红旭 ;

张永宏 ;

常建华 ;

李晨 .

中国专利 :CN119810063A ,2025-04-11

[2]

基于多尺度特征融合的图像检测方法 [P].

黄良军 ;

谢福 ;

张晓宁 ;

祝鲁宁 .

中国专利 :CN111738336A ,2020-10-02

[3]

基于多尺度特征融合的图像检测方法 [P].

黄良军 ;

谢福 ;

张晓宁 ;

祝鲁宁 .

中国专利 :CN111738336B ,2024-04-05

[4]

基于多尺度特征融合的滑坡检测方法及系统 [P].

李朋磊 ;

王毅 .

中国专利 :CN116740521B ,2025-10-17

[5]

基于多尺度特征融合的硅晶圆表面缺陷检测方法、设备、介质 [P].

胡松钰 ;

贺亦可 ;

胡佳滢 ;

张滈芮 ;

傅建中 .

中国专利 :CN120471918B ,2025-10-14

[6]

基于多尺度特征融合的硅晶圆表面缺陷检测方法、设备、介质 [P].

胡松钰 ;

贺亦可 ;

胡佳滢 ;

张滈芮 ;

傅建中 .

中国专利 :CN120471918A ,2025-08-12

[7]

一种基于多视图特征融合的晶圆缺陷检测方法及装置 [P].

杜云峰 ;

易丛文 ;

夏敏 ;

管健 .

中国专利 :CN118037705A ,2024-05-14

[8]

一种基于多尺度特征融合的边缘检测方法 [P].

赵龙阳 ;

刘鑫棠 ;

徐智 ;

孟瑞敏 ;

赵旺材 ;

范芷澜 .

中国专利 :CN119832017A ,2025-04-15

[9]

一种基于多尺度特征融合的洗衣机表面缺陷检测方法 [P].

王慧青 ;

姜佰训 ;

余厚云 .

中国专利 :CN118822998A ,2024-10-22

[10]

基于多尺度特征学习的晶圆表面缺陷检测方法 [P].

胡立磊 ;

马灿 .

中国专利 :CN121120530A ,2025-12-12

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