一种碳化硅功率器件的背面金属返工工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510376557.3

申请日：

2025-03-28

公开(公告)号：

CN120358786A

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

吴书旋邓转龙李晓波张霍

申请人：

西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）

申请人地址：

030024 山西省太原市万柏林区和平南路115号

IPC主分类号：

H10D64/01

IPC分类号：

H10D64/62 H01L21/56 H01L23/31

代理机构：

太原智慧管家知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14114

代理人：

马俊平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10D 64/01申请日:20250328
2025-07-22	公开	公开

共 50 条

[1]

碳化硅功率器件及碳化硅功率器件的制备方法 [P].

魏林程 ;

倪炜江 ;

郝志杰 .

中国专利 :CN119364809A ,2025-01-24

[2]

碳化硅功率器件的制备方法及其碳化硅功率器件 [P].

连建伟 ;

林志东 .

中国专利 :CN118800798A ,2024-10-18

[3]

一种碳化硅功率器件的制备方法及碳化硅功率器件 [P].

桑玲 ;

田亮 ;

夏经华 ;

查祎英 ;

张文婷 ;

田丽欣 ;

安运来 ;

朱涛 ;

牛喜平 ;

罗松威 ;

杨霏 ;

吴军民 .

中国专利 :CN112002648A ,2020-11-27

[4]

一种碳化硅功率器件 [P].

朱磊 ;

罗曦溪 ;

陈刚 ;

万玉喜 .

中国专利 :CN121099672A ,2025-12-09

[5]

一种碳化硅功率器件 [P].

袁昊 ;

王炫杰 ;

宋庆文 ;

汤晓燕 ;

雷邑平 ;

张玉明 .

中国专利 :CN115440794A ,2022-12-06

[6]

一种碳化硅功率器件 [P].

杨国江 ;

于世珩 ;

胡佳贤 .

中国专利 :CN115312586A ,2022-11-08

[7]

一种碳化硅功率器件 [P].

袁昊 ;

王炫杰 ;

宋庆文 ;

汤晓燕 ;

雷邑平 ;

张玉明 .

中国专利 :CN115440794B ,2025-09-12

[8]

一种碳化硅功率器件 [P].

郑方伟 .

中国专利 :CN218160384U ,2022-12-27

[9]

一种碳化硅外延片和碳化硅功率器件 [P].

王聪勇 ;

杜伟华 ;

高玉强 ;

李毕庆 ;

江协龙 .

中国专利 :CN223567989U ,2025-11-18

[10]

一种碳化硅功率器件的制备方法 [P].

李俊 .

中国专利 :CN120020999A ,2025-05-20

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