一种金属湿法化学腐蚀装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422206036.7

申请日：

2024-09-09

公开(公告)号：

CN223189259U

公开(公告)日：

2025-08-05

发明(设计)人：

黄赛琴黄福仁

申请人：

福建安特微电子有限公司

申请人地址：

351100 福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3555号

IPC主分类号：

C23F1/08

IPC分类号：

B08B3/04 B08B13/00

代理机构：

安徽迪迦知识产权代理事务所(普通合伙) 34333

代理人：

魏长丽

法律状态：

授权

国省代码：

福建省莆田市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种湿法化学腐蚀装置及湿法化学腐蚀工艺 [P].

王丽江 ;

王勇威 ;

范文斌 ;

胡天水 ;

夏楠君 .

中国专利 :CN109712865B ,2019-05-03

[2]

一种湿法化学腐蚀液处理装置 [P].

徐宏进 .

中国专利 :CN217903079U ,2022-11-25

[3]

湿法腐蚀装置 [P].

刘振芳 ;

蔡福兴 .

中国专利 :CN85203849U ,1986-05-21

[4]

一种湿法化学腐蚀LED表面粗化工艺 [P].

张志强 .

中国专利 :CN102185040A ,2011-09-14

[5]

一种硅半导体器件双级台阶结构的湿法化学腐蚀方法 [P].

朱长纯 ;

王颖 ;

吴春瑜 ;

袁寿财 .

中国专利 :CN1260784C ,2004-11-17

[6]

一种化学腐蚀检测装置 [P].

张本汉 .

中国专利 :CN205719902U ,2016-11-23

[7]

一种半导体湿法腐蚀的装置 [P].

陈宝华 ;

郑振宇 ;

王海峰 ;

周诗雨 ;

朱灵辉 ;

朱春生 ;

黄力平 .

中国专利 :CN202373566U ,2012-08-08

[8]

化学腐蚀装置 [P].

李瑞彬 ;

潘之炜 ;

郭栓银 ;

吴涛 ;

谭少阳 ;

周立 ;

张鹏 .

中国专利 :CN206357048U ,2017-07-28

[9]

一种多层金属湿法腐蚀的腐蚀液循环机构 [P].

黄赛琴 ;

黄福仁 ;

潘少辉 ;

郑志霞 .

中国专利 :CN222226559U ,2024-12-24

[10]

湿法腐蚀装置 [P].

浦栋 ;

惠利省 ;

李靖 ;

杨国文 ;

赵卫东 .

中国专利 :CN214477345U ,2021-10-22

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