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用于半导体检测设备的盖体及半导体检测设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510460714.9
申请日：
2025-04-14
公开(公告)号：
CN120388876A
公开(公告)日：
2025-07-29
发明(设计)人：
姜宇泽 米涛 何跃
申请人：
东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼
IPC主分类号：
H01J37/16
IPC分类号：
H01J37/26 G01N23/00
代理机构：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258
代理人：
娜拉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-29 公开 公开
2025-08-15 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/16申请日:20250414
共 50 条
[1]
用于半导体检测设备的机台及半导体检测设备 [P]. 
王庆涛 .
中国专利 :CN222774517U ,2025-04-18
[2]
用于半导体检测设备的配电组件及半导体检测设备 [P]. 
张婉 .
中国专利 :CN223451402U ,2025-10-17
[3]
半导体检测设备装样工装及半导体检测设备 [P]. 
李毅 .
中国专利 :CN222338220U ,2025-01-10
[4]
半导体检测设备以及半导体检测方法 [P]. 
胡耿涛 ;
林生财 ;
吴贵阳 .
中国专利 :CN117538715A ,2024-02-09
[5]
半导体检测设备 [P]. 
李海卫 ;
张鹏斌 ;
董坤玲 ;
金建高 ;
范铎 ;
陈鲁 .
中国专利 :CN214526667U ,2021-10-29
[6]
半导体检测设备的调试件及半导体检测设备的调试方法 [P]. 
陈鲁 ;
刘健鹏 ;
左天成 ;
范铎 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114486181A ,2022-05-13
[7]
半导体检测设备的调试件及半导体检测设备的调试方法 [P]. 
陈鲁 ;
刘健鹏 ;
左天成 ;
范铎 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114486181B ,2024-03-01
[8]
移动光阑及半导体检测设备 [P]. 
战东北 .
中国专利 :CN220774278U ,2024-04-12
[9]
密封阀门及半导体检测设备 [P]. 
李帅辰 ;
侯明凯 .
中国专利 :CN220816586U ,2024-04-19
[10]
半导体检测电路和方法、半导体检测设备和存储介质 [P]. 
罗海 ;
吴喆 ;
王国庆 .
中国专利 :CN117723800B ,2024-05-07
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