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一种新型离子源射频中和器

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211646418.0
申请日：
2022-12-21
公开(公告)号：
CN116130326B
公开(公告)日：
2025-08-01
发明(设计)人：
乔建栋 徐胜 黄坚
申请人：
杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
申请人地址：
215600 江苏省苏州市张家港市经济技术开发区福新路2号
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H01J37/08
代理机构：
北京红梵知识产权代理事务所(普通合伙) 11912
代理人：
赵伟成
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 苏州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-01 授权 授权
共 50 条
[1]
一种新型离子源中和器 [P]. 
李伟 .
中国专利 :CN214012895U ,2021-08-20
[2]
一种新型离子源中和器 [P]. 
李伟 .
中国专利 :CN112635286A ,2021-04-09
[3]
一种射频离子源中和器 [P]. 
卢成 ;
王伟 ;
张勇军 ;
张志强 .
中国专利 :CN115472479B ,2025-12-16
[4]
一种射频离子源中和器 [P]. 
卢成 ;
王伟 ;
张勇军 ;
张志强 .
中国专利 :CN115472479A ,2022-12-13
[5]
一种射频离子源中和器的电极 [P]. 
王伟 ;
张勇军 ;
卢成 .
中国专利 :CN113782407A ,2021-12-10
[6]
一种射频离子源中和器的电极 [P]. 
王伟 ;
张勇军 ;
卢成 .
中国专利 :CN216161685U ,2022-04-01
[7]
一种新型离子源等离子体中和器 [P]. 
李伟 .
中国专利 :CN214012896U ,2021-08-20
[8]
一种新型离子源等离子体中和器 [P]. 
李伟 .
中国专利 :CN112635287A ,2021-04-09
[9]
一种电离效果稳定的射频离子源中和器 [P]. 
刘伟基 ;
冀鸣 ;
陈蓓丽 .
中国专利 :CN206834151U ,2018-01-02
[10]
一种电离效果稳定的射频离子源中和器 [P]. 
刘伟基 ;
冀鸣 ;
陈蓓丽 .
中国专利 :CN106941066A ,2017-07-11
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