一种射频离子源中和器的电极

被引：0

申请号：

CN202122158259.7

申请日：

2021-09-08

公开(公告)号：

CN216161685U

公开(公告)日：

2022-04-01

发明(设计)人：

王伟张勇军卢成

申请人：

申请人地址：

610000 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号

IPC主分类号：

H01J3708

IPC分类号：

H01J3732 C23C1432

代理机构：

成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙) 51244

代理人：

贾波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种射频离子源中和器的电极 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

卢成 .

中国专利 :CN113782407A ,2021-12-10

[2]

一种射频离子源中和器 [P].

卢成 ;

王伟 ;

张勇军 ;

张志强 .

中国专利 :CN115472479B ,2025-12-16

[3]

一种射频离子源中和器 [P].

卢成 ;

王伟 ;

张勇军 ;

张志强 .

中国专利 :CN115472479A ,2022-12-13

[4]

一种电离效果稳定的射频离子源中和器 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

陈蓓丽 .

中国专利 :CN206834151U ,2018-01-02

[5]

一种新型离子源射频中和器 [P].

乔建栋 ;

徐胜 ;

黄坚 .

中国专利 :CN116130326B ,2025-08-01

[6]

一种电离效果稳定的射频离子源中和器 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

陈蓓丽 .

中国专利 :CN106941066A ,2017-07-11

[7]

一种新型离子源中和器 [P].

李伟 .

中国专利 :CN214012895U ,2021-08-20

[8]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

郑培鑫 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN221264042U ,2024-07-02

[9]

一种射频离子源 [P].

施春燕 .

中国专利 :CN209811889U ,2019-12-20

[10]

一种射频离子源 [P].

施春燕 .

中国专利 :CN110039383A ,2019-07-23

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