一种射频离子源中和器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211005134.3

申请日：

2022-08-22

公开(公告)号：

CN115472479B

公开(公告)日：

2025-12-16

发明(设计)人：

卢成王伟张勇军张志强

申请人：

成都国泰真空设备有限公司

申请人地址：

610000 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号

IPC主分类号：

H01J37/08

IPC分类号：

H01J37/32 C23C16/50

代理机构：

成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙) 51244

代理人：

贾波

法律状态：

授权

国省代码：

四川省成都市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种射频离子源中和器 [P].

卢成 ;

王伟 ;

张勇军 ;

张志强 .

中国专利 :CN115472479A ,2022-12-13

[2]

一种射频离子源中和器的电极 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

卢成 .

中国专利 :CN113782407A ,2021-12-10

[3]

一种射频离子源中和器的电极 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

卢成 .

中国专利 :CN216161685U ,2022-04-01

[4]

一种新型离子源射频中和器 [P].

乔建栋 ;

徐胜 ;

黄坚 .

中国专利 :CN116130326B ,2025-08-01

[5]

一种电离效果稳定的射频离子源中和器 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

陈蓓丽 .

中国专利 :CN206834151U ,2018-01-02

[6]

一种电离效果稳定的射频离子源中和器 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

陈蓓丽 .

中国专利 :CN106941066A ,2017-07-11

[7]

一种射频离子源 [P].

施春燕 .

中国专利 :CN209811889U ,2019-12-20

[8]

一种射频离子源 [P].

施春燕 .

中国专利 :CN110039383A ,2019-07-23

[9]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549B ,2024-02-20

[10]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549A ,2022-04-08

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