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一种扩膜装置以及晶圆扩膜机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411106153.4
申请日：
2024-08-13
公开(公告)号：
CN119008469B
公开(公告)日：
2025-07-18
发明(设计)人：
邹巍
唐香
杨子修
申请人：
广州诺顶智能科技有限公司
申请人地址：
510000 广东省广州市番禺区石楼镇珠江路79号A幢自编201
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/78
G01V8/10
G01V9/00
代理机构：
广州骏思知识产权代理有限公司 44425
代理人：
王宇洁
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广东省
广州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240813 |
| 2025-07-18 | 授权 | 授权 |
| 2024-11-22 | 公开 | 公开 |