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一种晶圆对位扩膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202423008044.7
申请日：
2024-12-05
公开(公告)号：
CN223539572U
公开(公告)日：
2025-11-11
发明(设计)人：
周辉
褚锋
陈万群
王正根
申请人：
迈为技术（珠海）有限公司
申请人地址：
519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室（集中办公区）
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/683
代理机构：
北京泽方誉航专利代理事务所(普通合伙) 11884
代理人：
陈国靖
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-11-11 | 授权 | 授权 |