共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆自动扩膜机构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410965613.2
申请日：
2024-07-18
公开(公告)号：
CN118507397A
公开(公告)日：
2024-08-16
发明(设计)人：
韩云诚
洪超
华文俊
张守成
巫家山
陈怡福
申请人：
纽豹智能识别技术（无锡）有限公司
申请人地址：
214135 江苏省无锡市新区华谊路23号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687
代理机构：
无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104
代理人：
马新军;曹祖良
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
无锡市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240718 |
| 2024-08-16 | 公开 | 公开 |
| 2024-11-26 | 授权 | 授权 |