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一种芯片表面缺陷检测装置及方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510571112.0
申请日：
2025-05-06
公开(公告)号：
CN120404777A
公开(公告)日：
2025-08-01
发明(设计)人：
孙海浪 贺苗苗 王超
申请人：
江西天漪半导体有限公司
申请人地址：
332508 江西省九江市湖口县高新技术产业园区海山科技创新试验区电子信息产业园1#、2#楼
IPC主分类号：
G01N21/95
IPC分类号：
G01N21/01
代理机构：
深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525
代理人：
黄凌飞
法律状态：
发明专利申请公布后的撤回
国省代码：
天津市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-08 发明专利申请公布后的撤回 发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):G01N 21/95申请公布日:20250801
2025-08-01 公开 公开
共 50 条
[1]
一种芯片表面缺陷检测装置 [P]. 
韦虎 ;
倪化生 ;
黄炫 .
中国专利 :CN218098917U ,2022-12-20
[2]
一种芯片表面缺陷检测装置 [P]. 
陈容升 ;
王紫玉 ;
李欣 .
中国专利 :CN223526269U ,2025-11-07
[3]
一种芯片表面缺陷检测装置 [P]. 
曾省金 ;
杨惠雄 .
中国专利 :CN216696114U ,2022-06-07
[4]
一种基于机器视觉的芯片表面缺陷检测装置及其检测方法 [P]. 
刘炎 ;
胡翔 .
中国专利 :CN115615924A ,2023-01-17
[5]
一种芯片表面缺陷检测方法 [P]. 
耿丽清 ;
朱心颖 ;
杨耿煌 .
中国专利 :CN119991558A ,2025-05-13
[6]
一种芯片表面缺陷检测方法 [P]. 
李春啸 .
中国专利 :CN119477834A ,2025-02-18
[7]
一种芯片表面缺陷和温度检测装置 [P]. 
李嘉毅 ;
徐立君 ;
孙中海 .
中国专利 :CN215342507U ,2021-12-28
[8]
一种芯片表面缺陷检测方法及系统 [P]. 
周莉 ;
唐杰 ;
胡世棋 ;
杨陈浩 ;
顾志强 .
中国专利 :CN118735913B ,2024-11-15
[9]
一种芯片表面缺陷检测方法及系统 [P]. 
周莉 ;
唐杰 ;
胡世棋 ;
杨陈浩 ;
顾志强 .
中国专利 :CN118735913A ,2024-10-01
[10]
芯片表面缺陷检测方法及设备 [P]. 
陈炳贵 .
中国专利 :CN117726627B ,2024-04-16
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