晶圆修边设备及其控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510618282.X

申请日：

2025-05-14

公开(公告)号：

CN120341161A

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

万先进朱松肖江锋杨正旭锁志勇向毅秦宝宏

申请人：

宁波芯丰精密科技有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区城东新区冶山路

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/687 H01L21/67 B28D5/02 B28D7/04 B28D7/00 B24B9/06

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

杨亚茹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20250514
2025-07-18	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆修边设备 [P].

朱松 ;

万先进 ;

田鑫 ;

张怀东 ;

秦宝宏 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220651967U ,2024-03-22

[2]

晶圆修边处理设备及晶圆修边处理方法 [P].

朱松 ;

万先进 ;

田鑫 ;

谢亚楠 ;

钱宇强 ;

梁志远 ;

张怀东 ;

杨磊 ;

边逸军 .

中国专利 :CN117644587A ,2024-03-05

[3]

晶圆修边处理设备 [P].

朱松 ;

万先进 ;

田鑫 ;

谢亚楠 ;

钱宇强 ;

梁志远 ;

张怀东 ;

杨磊 ;

边逸军 .

中国专利 :CN221850761U ,2024-10-18

[4]

气幕防尘装置及晶圆修边设备 [P].

万先进 ;

钱宇强 ;

朱松 ;

张怀东 ;

田鑫 ;

李帆 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220784478U ,2024-04-16

[5]

刀轮切削校准装置及晶圆修边设备 [P].

朱松 ;

万先进 ;

田鑫 ;

张怀东 ;

秦宝宏 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220548495U ,2024-03-01

[6]

一种晶圆修边设备、晶圆修边设备的控制方法及装置 [P].

郑庆洋 ;

王松 ;

张若迪 ;

王志伟 ;

董海昌 ;

刘雪飞 ;

徐鹏 ;

李建宁 .

中国专利 :CN121215572A ,2025-12-26

[7]

修边设备 [P].

万先进 ;

谢亚楠 ;

朱松 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220548492U ,2024-03-01

[8]

一种晶圆修边方法、系统及装置 [P].

曹思明 ;

孙菁阳 ;

朱亮 ;

王宁银 ;

潘斌 .

中国专利 :CN120696880A ,2025-09-26

[9]

晶圆修边试切平台及试切方法 [P].

万先进 ;

朱松 ;

王柏科 ;

谢烨超 ;

肖江锋 ;

杨正旭 ;

锁志勇 .

中国专利 :CN120716046A ,2025-09-30

[10]

晶圆清洗装置及修边设备 [P].

朱松 ;

万先进 ;

谢亚楠 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220651971U ,2024-03-22

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