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一种晶圆修边方法、系统及装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511001356.1
申请日：
2025-07-21
公开(公告)号：
CN120696880A
公开(公告)日：
2025-09-26
发明(设计)人：
曹思明 孙菁阳 朱亮 王宁银 潘斌
申请人：
浙江晶盛机电股份有限公司 浙江求是半导体设备有限公司 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请人地址：
312300 浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路99号
IPC主分类号：
B24B9/06
IPC分类号：
B24B41/02 B24B41/06 B24B47/22 B24B1/00 B24B41/04 B24B47/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-26 公开 公开
2025-10-17 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 9/06申请日:20250721
共 50 条
[1]
晶圆修边处理设备及晶圆修边处理方法 [P]. 
朱松 ;
万先进 ;
田鑫 ;
谢亚楠 ;
钱宇强 ;
梁志远 ;
张怀东 ;
杨磊 ;
边逸军 .
中国专利 :CN117644587A ,2024-03-05
[2]
晶圆修边设备 [P]. 
朱松 ;
万先进 ;
田鑫 ;
张怀东 ;
秦宝宏 ;
边逸军 .
中国专利 :CN220651967U ,2024-03-22
[3]
晶圆修边试切平台及试切方法 [P]. 
万先进 ;
朱松 ;
王柏科 ;
谢烨超 ;
肖江锋 ;
杨正旭 ;
锁志勇 .
中国专利 :CN120716046A ,2025-09-30
[4]
晶圆修边处理设备 [P]. 
朱松 ;
万先进 ;
田鑫 ;
谢亚楠 ;
钱宇强 ;
梁志远 ;
张怀东 ;
杨磊 ;
边逸军 .
中国专利 :CN221850761U ,2024-10-18
[5]
晶圆修边设备及其控制方法 [P]. 
万先进 ;
朱松 ;
肖江锋 ;
杨正旭 ;
锁志勇 ;
向毅 ;
秦宝宏 .
中国专利 :CN120341161A ,2025-07-18
[6]
气幕防尘装置及晶圆修边设备 [P]. 
万先进 ;
钱宇强 ;
朱松 ;
张怀东 ;
田鑫 ;
李帆 ;
边逸军 .
中国专利 :CN220784478U ,2024-04-16
[7]
刀轮切削校准装置及晶圆修边设备 [P]. 
朱松 ;
万先进 ;
田鑫 ;
张怀东 ;
秦宝宏 ;
边逸军 .
中国专利 :CN220548495U ,2024-03-01
[8]
一种晶圆传送系统检测方法及晶圆传送系统 [P]. 
周亮 .
中国专利 :CN114295199A ,2022-04-08
[9]
晶圆传送系统检测方法及晶圆传送系统 [P]. 
周亮 .
中国专利 :CN113899446A ,2022-01-07
[10]
晶圆干燥装置及晶圆干燥方法 [P]. 
李柠 ;
张腾 .
中国专利 :CN117704782A ,2024-03-15
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