半导体器件的检测方法、装置及系统、存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410109130.2

申请日：

2024-01-25

公开(公告)号：

CN120376434A

公开(公告)日：

2025-07-25

发明(设计)人：

黄小凡李红丽

申请人：

长江存储科技有限责任公司

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L23/544 H01L21/67

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司 11270

代理人：

罗晶瑾;胡春光

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20240125
2025-07-25	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体器件的检测方法、系统及存储介质 [P].

刘沙沙 ;

张天辉 ;

陈超 ;

李寒骁 ;

杨敏 ;

霍宗亮 .

中国专利 :CN114864426A ,2022-08-05

[2]

半导体缺陷的检测方法、系统及存储介质 [P].

季珩 ;

杨峰 .

中国专利 :CN120707516A ,2025-09-26

[3]

半导体器件和半导体存储器件的检测方法 [P].

国清辰也 ;

永久克己 ;

山下恭司 ;

海本博之 ;

小林睦 ;

大谷一弘 .

中国专利 :CN1438688A ,2003-08-27

[4]

半导体器件检测方法、装置、电子设备和存储介质 [P].

王苏恺 ;

李璇 ;

陈平 ;

魏志晴 ;

孙雪琴 ;

郭丽娜 ;

李雨 ;

赵晓杰 ;

孔慧华 .

中国专利 :CN120047389A ,2025-05-27

[5]

半导体器件检测方法、装置、电子设备和存储介质 [P].

王苏恺 ;

李璇 ;

陈平 ;

魏志晴 ;

孙雪琴 ;

郭丽娜 ;

李雨 ;

赵晓杰 ;

孔慧华 .

中国专利 :CN120047389B ,2025-08-08

[6]

一种半导体器件检测方法、装置、智能终端及存储介质 [P].

罗建华 .

中国专利 :CN112184689B ,2024-06-25

[7]

一种半导体器件检测方法、装置、智能终端及存储介质 [P].

罗建华 .

中国专利 :CN112184689A ,2021-01-05

[8]

半导体器件光学检测方法、系统、电子设备和存储介质 [P].

韩东生 ;

张莲莲 ;

赵文秀 .

中国专利 :CN119595638A ,2025-03-11

[9]

半导体器件检测装置以及半导体器件检测方法 [P].

柳弘俊 ;

尹芸重 .

中国专利 :CN102778642B ,2012-11-14

[10]

半导体器件检测装置以及半导体器件检测方法 [P].

柳弘俊 ;

尹芸重 .

中国专利 :CN102214549A ,2011-10-12

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