共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
晶圆清洁装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422290892.5
申请日：
2024-09-19
公开(公告)号：
CN223171582U
公开(公告)日：
2025-08-01
发明(设计)人：
林飞
申请人：
浙江创芯集成电路有限公司
申请人地址：
311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号
IPC主分类号：
B08B11/00
IPC分类号：
B08B11/02
B08B5/02
B08B13/00
B08B15/04
H01L21/67
H01L21/02
代理机构：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人：
潘彦君
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-01 | 授权 | 授权 |