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晶圆清洁装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020326098.0
申请日：
2020-03-16
公开(公告)号：
CN211605107U
公开(公告)日：
2020-09-29
发明(设计)人：
陈国良
刘孟勇
申请人：
申请人地址：
430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
北京成创同维知识产权代理有限公司 11449
代理人：
蔡纯;杨思雨
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-29 | 授权 | 授权 |