降低氧化铝薄膜漏电流的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510551311.5

申请日：

2025-04-28

公开(公告)号：

CN120350356A

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

张涵夏陈彦涛薛国标

申请人：

拓荆科技（上海）有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室

IPC主分类号：

C23C16/40

IPC分类号：

C23C16/455 C23C16/52 H10K50/844

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

辛元石

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	公开	公开
2025-08-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/40申请日:20250428

共 50 条

[1]

一种降低氧化铝碱性的方法 [P].

尹培基 ;

曹文卓 ;

闫昭 ;

李婷 .

中国专利 :CN117361594A ,2024-01-09

[2]

一种氮化铝-氧化铝薄膜及其制备方法和应用 [P].

蒋书森 ;

吕文龙 .

中国专利 :CN111455351A ,2020-07-28

[3]

一种降低氧化铝薄膜紫外光学损耗的后处理方法 [P].

陶春先 ;

姜守振 ;

冯德军 ;

黄庆婕 ;

宋磊 ;

季伟 .

中国专利 :CN103276367A ,2013-09-04

[4]

氧化铝薄膜的制备方法 [P].

金润洙 ;

安基硕 ;

李善淑 ;

郑泽模 ;

曺源泰 ;

成耆焕 .

中国专利 :CN1675404A ,2005-09-28

[5]

氧化铝薄膜的制备方法 [P].

张伟丽 ;

余振 ;

朱瑞 ;

易葵 ;

刘晓凤 ;

王胭脂 ;

朱美萍 ;

邵建达 .

中国专利 :CN111270208A ,2020-06-12

[6]

一种降低氧化铝水解的生产方法 [P].

李成添 ;

涂晓颖 ;

石培仁 .

中国专利 :CN118724037A ,2024-10-01

[7]

降低氧化铝仓料位的卸料装置 [P].

张明渊 ;

冷攀武 .

中国专利 :CN201052900Y ,2008-04-30

[8]

一种降低氧化铝产品中硅含量的方法及氧化铝产品 [P].

郑洁 ;

杨会宾 ;

齐利娟 ;

于晴 ;

杨桂丽 ;

张建强 .

中国专利 :CN119018920A ,2024-11-26

[9]

含氧化铝薄膜和具有该含氧化铝薄膜的磁存储装置 [P].

井谷司 ;

小岛由纪子 .

中国专利 :CN1251934A ,2000-05-03

[10]

多孔氧化铝薄膜的制备方法 [P].

吴昊 .

中国专利 :CN101608331B ,2009-12-23

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