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加热器以及半导体设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510667942.3
申请日：
2025-05-22
公开(公告)号：
CN120505603A
公开(公告)日：
2025-08-19
发明(设计)人：
李王俊
王硕
孙健博
申请人：
宸微设备科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215299 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路228号
IPC主分类号：
C23C16/448
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人：
张雪琴
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-19 | 公开 | 公开 |
| 2025-09-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/448申请日:20250522 |