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水平调节装置、加热器组件以及半导体加工设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411128092.1
申请日：
2024-08-16
公开(公告)号：
CN119050032A
公开(公告)日：
2024-11-29
发明(设计)人：
王会会
申请人：
盛吉盛半导体技术（上海）有限公司
申请人地址：
200120 上海市浦东新区（上海）自由贸易试验区临港新片区丽正路1628号4幢1-2层
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/67
F16M11/32
代理机构：
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人：
金天龙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20240816 |
| 2024-11-29 | 公开 | 公开 |