加热器故障检测装置及方法、加热系统、半导体加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810680897.5

申请日：

2018-06-27

公开(公告)号：

CN110646684B

公开(公告)日：

2020-01-03

发明(设计)人：

程旭文

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

G01R3100

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-03	公开	公开
2022-06-14	授权	授权
2020-02-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/00 申请日:20180627

共 50 条

[1]

加热器和半导体加工设备 [P].

万飞华 .

中国专利 :CN220468249U ,2024-02-09

[2]

加热系统及半导体加工设备 [P].

刘玉杰 ;

董博宇 ;

文莉辉 ;

张家昊 ;

武学伟 ;

武术波 ;

杨依龙 ;

李新颖 ;

郭冰亮 ;

李丽 ;

宋玲彦 ;

张璐 ;

陈玉静 ;

马迎功 ;

赵晨光 .

中国专利 :CN110299314A ,2019-10-01

[3]

环形加热器和半导体加工设备 [P].

王新征 ;

王国超 .

中国专利 :CN120640446A ,2025-09-12

[4]

加热器、半导体加工腔室及加工设备 [P].

田西强 ;

史全宇 .

中国专利 :CN110556319A ,2019-12-10

[5]

加热装置及半导体加工设备 [P].

蒲春 .

中国专利 :CN101748390A ,2010-06-23

[6]

水平调节装置、加热器组件以及半导体加工设备 [P].

王会会 .

中国专利 :CN119050032A ,2024-11-29

[7]

一种半导体加工设备的辅助加热器 [P].

郝晓明 ;

郑建宇 ;

侯鹏飞 ;

赵福平 .

中国专利 :CN212316243U ,2021-01-08

[8]

一种真空腔用加热器及半导体加工设备 [P].

姚力军 ;

严薪 ;

鲍伟江 ;

昝小磊 ;

占卫君 .

中国专利 :CN223261672U ,2025-08-22

[9]

加热腔室及半导体加工设备 [P].

邱国庆 .

中国专利 :CN107785283B ,2018-03-09

[10]

加热腔室及半导体加工设备 [P].

宗令蓓 .

中国专利 :CN101930902A ,2010-12-29

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