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研磨头和研磨装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380088824.6
申请日：
2023-11-14
公开(公告)号：
CN120513150A
公开(公告)日：
2025-08-19
发明(设计)人：
内山圭介
山本晓
申请人：
株式会社荏原制作所
申请人地址：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号：
B24B41/047
IPC分类号：
B24B21/00
H01L21/304
代理机构：
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人：
张丽颖
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-19 | 公开 | 公开 |