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一种晶圆喷淋臂清洗装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422394683.5
申请日：
2024-09-30
公开(公告)号：
CN223250025U
公开(公告)日：
2025-08-22
发明(设计)人：
万晓强 唐宝国 陈新来 沈一林
申请人：
至微半导体（上海）有限公司
申请人地址：
200241 上海市闵行区紫海路170号1幢3层03室
IPC主分类号：
B08B3/02
IPC分类号：
B08B13/00 H01L21/67
代理机构：
上海远同律师事务所 31307
代理人：
许力
法律状态：
授权
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-22 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆喷淋设备清洗装置 [P]. 
万晓强 ;
盛涛 ;
唐宝国 ;
陈新来 ;
沈一林 .
中国专利 :CN119281720A ,2025-01-10
[2]
一种晶圆清洗装置用喷淋机构 [P]. 
杨茗 ;
胡路 .
中国专利 :CN217911683U ,2022-11-29
[3]
一种晶圆清洗装置用喷淋机构 [P]. 
王彬 ;
张彬彬 ;
王晓晨 .
中国专利 :CN221908656U ,2024-10-29
[4]
一种喷淋式晶圆高效清洗装置 [P]. 
王岳峰 .
中国专利 :CN210907313U ,2020-07-03
[5]
一种晶圆清洗设备的喷淋装置 [P]. 
陆先锋 .
中国专利 :CN216631793U ,2022-05-31
[6]
一种晶圆旋转喷淋清洗装置 [P]. 
尹明清 .
中国专利 :CN117153765B ,2024-02-06
[7]
一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P]. 
贺贤汉 ;
杉原一男 ;
佐藤泰幸 ;
原英樹 .
中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18
[8]
一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P]. 
唐强 .
中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04
[9]
一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN221602607U ,2024-08-27
[10]
一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置 [P]. 
兰升友 ;
徐瑞林 .
中国专利 :CN215613584U ,2022-01-25
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