学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

一种晶圆清洗装置用喷淋机构

被引：0
申请号：
CN202221789145.0
申请日：
2022-07-12
公开(公告)号：
CN217911683U
公开(公告)日：
2022-11-29
发明(设计)人：
杨茗 胡路
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区华枫路259号
IPC主分类号：
B08B100
IPC分类号：
B08B104 B08B302 H01L2167 H01L21683
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-11-29 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆清洗装置用喷淋机构 [P]. 
王彬 ;
张彬彬 ;
王晓晨 .
中国专利 :CN221908656U ,2024-10-29
[2]
一种单片式晶圆清洗装置的喷淋机构 [P]. 
徐竹林 .
中国专利 :CN218424373U ,2023-02-03
[3]
一种喷淋式晶圆高效清洗装置 [P]. 
王岳峰 .
中国专利 :CN210907313U ,2020-07-03
[4]
一种晶圆喷淋臂清洗装置 [P]. 
万晓强 ;
唐宝国 ;
陈新来 ;
沈一林 .
中国专利 :CN223250025U ,2025-08-22
[5]
一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置 [P]. 
兰升友 ;
徐瑞林 .
中国专利 :CN215613584U ,2022-01-25
[6]
一种晶圆清洗用胶圈及晶圆清洗装置 [P]. 
蔡春月 ;
汪志宇 .
中国专利 :CN221269032U ,2024-07-05
[7]
一种晶圆夹持机构和晶圆清洗装置 [P]. 
刘丰迪 ;
徐俊成 ;
王鹏 .
中国专利 :CN218215262U ,2023-01-03
[8]
一种晶圆清洗装置 [P]. 
左国军 ;
蔡嘉雄 ;
黄海祥 ;
王雷雷 .
中国专利 :CN223450849U ,2025-10-17
[9]
一种晶圆清洗装置 [P]. 
翁裕斌 ;
朱峰 ;
翁伊宁 .
中国专利 :CN216902835U ,2022-07-05
[10]
一种晶圆清洗装置 [P]. 
王裕昌 ;
丁荣伟 ;
周军 ;
孙汉林 ;
周士旺 .
中国专利 :CN222720353U ,2025-04-04
12345