提升光刻工艺窗口的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510763409.7

申请日：

2025-06-09

公开(公告)号：

CN120491397A

公开(公告)日：

2025-08-15

发明(设计)人：

孙珊珊王岳周红宇李海涛

申请人：

安徽晶微科技有限公司

申请人地址：

239000 安徽省滁州市琅琊区琅琊经济开发区六安路40号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387

代理人：

张向琨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250609
2025-08-15	公开	公开

共 50 条

[1]

确定光刻工艺窗口的方法 [P].

高松 ;

张聪 ;

胡丹丹 .

中国专利 :CN110632827A ,2019-12-31

[2]

优化光刻工艺窗口的方法 [P].

段成明 .

中国专利 :CN114035408A ,2022-02-11

[3]

确定光刻工艺窗口的方法 [P].

毛智彪 ;

王剑 ;

戴韫青 .

中国专利 :CN102436149A ,2012-05-02

[4]

光刻工艺窗口确定方法 [P].

周国栋 ;

陈甫讯 ;

陈泽阳 ;

高大为 .

中国专利 :CN120595541A ,2025-09-05

[5]

优化芯片光刻工艺窗口的方法 [P].

夏明 .

中国专利 :CN121115425A ,2025-12-12

[6]

光刻工艺窗口模拟的方法和系统 [P].

叶军 ;

曹宇 ;

冯函英 .

中国专利 :CN101452221A ,2009-06-10

[7]

基于光刻工艺窗口的hotspot发现方法 [P].

任谦 ;

王昳 ;

赵伟 ;

修磊 ;

陈强 ;

方大千 ;

潘继宏 .

中国专利 :CN121189266A ,2025-12-23

[8]

光刻工艺窗口的检测方法及装置 [P].

燕燕 ;

时雪龙 ;

夏铭阳 ;

周涛 .

中国专利 :CN114627095A ,2022-06-14

[9]

光刻工艺窗口的检测方法及装置 [P].

燕燕 ;

时雪龙 ;

夏铭阳 ;

周涛 .

中国专利 :CN114627095B ,2025-10-03

[10]

一种绘制光刻工艺窗口的方法 [P].

董立松 ;

韦亚一 .

中国专利 :CN115437225A ,2022-12-06

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