确定光刻工艺窗口的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910914956.5

申请日：

2019-09-26

公开(公告)号：

CN110632827A

公开(公告)日：

2019-12-31

发明(设计)人：

高松张聪胡丹丹

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

张彦敏

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20191231
2019-12-31	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻工艺窗口确定方法 [P].

周国栋 ;

陈甫讯 ;

陈泽阳 ;

高大为 .

中国专利 :CN120595541A ,2025-09-05

[2]

确定光刻工艺窗口的方法 [P].

毛智彪 ;

王剑 ;

戴韫青 .

中国专利 :CN102436149A ,2012-05-02

[3]

一种确定光刻工艺窗口的方法 [P].

左凯 .

中国专利 :CN120871557A ,2025-10-31

[4]

优化光刻工艺窗口的方法 [P].

段成明 .

中国专利 :CN114035408A ,2022-02-11

[5]

确定最佳工艺窗口的最佳工艺设定的方法,该最佳工艺窗口优化了确定光刻工艺最佳工艺窗口的工艺性能 [P].

J·范温格登 ;

C·A·H·朱弗曼斯 ;

P·迪克森 .

中国专利 :CN1732412A ,2006-02-08

[6]

提升光刻工艺窗口的方法 [P].

孙珊珊 ;

王岳 ;

周红宇 ;

李海涛 .

中国专利 :CN120491397A ,2025-08-15

[7]

基于光刻工艺窗口的hotspot发现方法 [P].

任谦 ;

王昳 ;

赵伟 ;

修磊 ;

陈强 ;

方大千 ;

潘继宏 .

中国专利 :CN121189266A ,2025-12-23

[8]

光刻工艺窗口的检测方法及装置 [P].

燕燕 ;

时雪龙 ;

夏铭阳 ;

周涛 .

中国专利 :CN114627095A ,2022-06-14

[9]

光刻工艺窗口的检测方法及装置 [P].

燕燕 ;

时雪龙 ;

夏铭阳 ;

周涛 .

中国专利 :CN114627095B ,2025-10-03

[10]

一种在线确定光刻工艺窗口的方法 [P].

李中华 ;

毛智彪 ;

甘志锋 .

中国专利 :CN103995439B ,2014-08-20

← 1 2 3 4 5 →