光刻工艺窗口的检测方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210301347.4

申请日：

2022-03-25

公开(公告)号：

CN114627095B

公开(公告)日：

2025-10-03

发明(设计)人：

燕燕时雪龙夏铭阳周涛

申请人：

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司上海集成电路研发中心有限公司

申请人地址：

201800 上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G06T7/13 G06N3/0464 G06N3/08

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻工艺窗口的检测方法及装置 [P].

燕燕 ;

时雪龙 ;

夏铭阳 ;

周涛 .

中国专利 :CN114627095A ,2022-06-14

[2]

确定光刻工艺窗口的方法 [P].

高松 ;

张聪 ;

胡丹丹 .

中国专利 :CN110632827A ,2019-12-31

[3]

一种基于对比学习的光刻工艺窗口检测方法 [P].

沈季玮 ;

陆虎 ;

吕岳 ;

吕淑静 .

中国专利 :CN116482943B ,2025-10-24

[4]

基于光刻工艺窗口的hotspot发现方法 [P].

任谦 ;

王昳 ;

赵伟 ;

修磊 ;

陈强 ;

方大千 ;

潘继宏 .

中国专利 :CN121189266A ,2025-12-23

[5]

提升光刻工艺窗口的方法 [P].

孙珊珊 ;

王岳 ;

周红宇 ;

李海涛 .

中国专利 :CN120491397A ,2025-08-15

[6]

优化光刻工艺窗口的方法 [P].

段成明 .

中国专利 :CN114035408A ,2022-02-11

[7]

确定光刻工艺窗口的方法 [P].

毛智彪 ;

王剑 ;

戴韫青 .

中国专利 :CN102436149A ,2012-05-02

[8]

光刻工艺窗口确定方法 [P].

周国栋 ;

陈甫讯 ;

陈泽阳 ;

高大为 .

中国专利 :CN120595541A ,2025-09-05

[9]

优化芯片光刻工艺窗口的方法 [P].

夏明 .

中国专利 :CN121115425A ,2025-12-12

[10]

一种绘制光刻工艺窗口的方法 [P].

董立松 ;

韦亚一 .

中国专利 :CN115437225A ,2022-12-06

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