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一种确定光刻工艺窗口的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511406845.5
申请日：
2025-09-29
公开(公告)号：
CN120871557A
公开(公告)日：
2025-10-31
发明(设计)人：
左凯
申请人：
荣芯半导体（宁波）有限公司
申请人地址：
315809 浙江省宁波市北仑区柴桥街道金水桥路28号4幢1号1层-1
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
G06F30/398 G06F30/392
代理机构：
北京市磐华律师事务所 11336
代理人：
高伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-31 公开 公开
2025-11-18 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250929
共 50 条
[1]
确定光刻工艺窗口的方法 [P]. 
高松 ;
张聪 ;
胡丹丹 .
中国专利 :CN110632827A ,2019-12-31
[2]
光刻工艺窗口确定方法 [P]. 
周国栋 ;
陈甫讯 ;
陈泽阳 ;
高大为 .
中国专利 :CN120595541A ,2025-09-05
[3]
确定光刻工艺窗口的方法 [P]. 
毛智彪 ;
王剑 ;
戴韫青 .
中国专利 :CN102436149A ,2012-05-02
[4]
一种在线确定光刻工艺窗口的方法 [P]. 
李中华 ;
毛智彪 ;
甘志锋 .
中国专利 :CN103995439B ,2014-08-20
[5]
基于光刻工艺窗口的hotspot发现方法 [P]. 
任谦 ;
王昳 ;
赵伟 ;
修磊 ;
陈强 ;
方大千 ;
潘继宏 .
中国专利 :CN121189266A ,2025-12-23
[6]
一种绘制光刻工艺窗口的方法 [P]. 
董立松 ;
韦亚一 .
中国专利 :CN115437225A ,2022-12-06
[7]
提升光刻工艺窗口的方法 [P]. 
孙珊珊 ;
王岳 ;
周红宇 ;
李海涛 .
中国专利 :CN120491397A ,2025-08-15
[8]
优化光刻工艺窗口的方法 [P]. 
段成明 .
中国专利 :CN114035408A ,2022-02-11
[9]
光刻工艺窗口的检测方法及装置 [P]. 
燕燕 ;
时雪龙 ;
夏铭阳 ;
周涛 .
中国专利 :CN114627095A ,2022-06-14
[10]
光刻工艺窗口的检测方法及装置 [P]. 
燕燕 ;
时雪龙 ;
夏铭阳 ;
周涛 .
中国专利 :CN114627095B ,2025-10-03
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